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低壓條件下高靈敏度拉壓式傳感器的設(shè)計與應(yīng)用
來源：上海自動化儀表有限公司作者：發(fā)表時間：2018-12-26 08:50:29【小中大】
如今，環(huán)境問題和氣候變化是一個巨大的全球性問題，拉壓式傳感器在環(huán)境監(jiān)測中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。這種傳感器在各種研究項目中具有廣泛的應(yīng)用，并且還被氣象站廣泛使用?？梢詸z測最微小壓力變化的高質(zhì)量低壓傳感器安裝在測量高壓大氣壓的無線電探空儀中。類似地，這種拉壓式傳感器可以檢測由于高度變化引起的低壓變化。它們非常精密，即使在樓梯間，它們也可以根據(jù)高度變化讀取壓力變化的變化！上海自動化儀表有限公司拉壓式傳感器還可用于精確測量3D導(dǎo)航和空間定向中的低壓變化。
不同類型的拉壓式傳感器
隨著微機電系統(tǒng)（MEMS）的發(fā)展，市場上已經(jīng)引入了不同型號的基于MEMS的低壓傳感器。根據(jù)它們使用的原理，壓力傳感器可以采用拉壓式，諧振式，電容式等形式。在所有這些中，拉壓式傳感器是最受歡迎和廣泛使用的。這是因為它們具有顯著的優(yōu)點，例如對壓力變化的最低變化的高靈敏度，準(zhǔn)確的讀數(shù)，可重復(fù)性和出色的線性度。當(dāng)器件暴露在環(huán)境中時，這些器件基于壓敏電阻器低壓傳感器的電阻來記錄壓力。
拉壓式傳感器傳感器配置
上海自動化儀表有限公司這種類型的傳感器具有四個壓電電阻器，方形膜和膜上的橫梁。該梁包括三層，即硅層，鋁層和隔離層。四個壓電電阻器嵌入硅層中。
在所使用的四個壓阻傳感器中，兩個垂直地位于膜的兩側(cè)。當(dāng)膜暴露于增加的壓力時，它們檢測到壓力的變化，因為它們的阻力增加。
另外兩個壓電電阻器與膜平行，它們的電阻隨著壓力的增加而減小。四個壓電電阻通過電橋連接。
拉壓式傳感器的應(yīng)用
除了廣泛用于測量大氣和高海拔的低壓變化外，拉壓式傳感器還有其他幾種應(yīng)用。
這種低壓傳感器廣泛用于醫(yī)療應(yīng)用中，用于測量體內(nèi)的超低血壓波動。
它們還用于測量使用觸摸技術(shù)或采用敏感E-skin技術(shù)設(shè)計的低壓變化（特別是低于100 Pa）。
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